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真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試試驗(yàn)方法及注意事項(xiàng)

真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試試驗(yàn)

真空度降低的原因

(1)滅弧室內(nèi)部材料含氣釋放

(2)滅弧室漏氣:滅弧室密封質(zhì)量、機(jī)械沖擊

真空度檢測(cè)方法

(1)火花計(jì)法一準(zhǔn)確度低,人為、環(huán)境影響因素大;

(2)觀察法一準(zhǔn)確度低,人為、環(huán)境影響因素大;

(3)交流耐壓法一無(wú)法定量,不能作出預(yù)判斷;

(4)真空度測(cè)試儀法;

(5)真空度在線(xiàn)監(jiān)測(cè):電光變換法、耦合電容法、壓力傳感法。

真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀

真空度測(cè)試儀基本原理

磁控放電法一高壓脈沖和磁場(chǎng)脈沖同時(shí)作用于真空滅弧室,使之內(nèi)部產(chǎn)生脈沖磁控放電現(xiàn)象,產(chǎn)生離子電流,測(cè)量離子電流并與已知的電流一真空度曲線(xiàn)比較,得出真空度。

試驗(yàn)方法的差別:

(1)離子電流取值方法一峰值方法、積分方法;

(2)磁場(chǎng)線(xiàn)圈形式一固定式、纏繞式、對(duì)折式;

(3)內(nèi)存曲線(xiàn)數(shù)量一粗分、細(xì)分。

測(cè)試精度問(wèn)題

日前測(cè)量范圍0-10-4Pa,可達(dá)到10級(jí);

現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試注意事項(xiàng):

(1)滅弧室表面應(yīng)擦拭干凈;

(2)磁場(chǎng)線(xiàn)圈盡量貼近滅弧室;

(3)連續(xù)重復(fù)測(cè)試同一滅弧室,數(shù)據(jù)可能不準(zhǔn);

(4)測(cè)試完成后,儀器應(yīng)放電。

測(cè)試結(jié)果處理建議:

不能完全排除交流耐壓試驗(yàn),應(yīng)結(jié)合使用;

測(cè)試結(jié)果10-4Pa數(shù)量級(jí)及以下,合格;

測(cè)試結(jié)果在10-3Pa數(shù)量級(jí),加強(qiáng)監(jiān)測(cè);

測(cè)試結(jié)果10-2Pa數(shù)量級(jí)及以上,建議更換。

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